半導体装置、AI照準で研究・生産増強…「26年の前工程向け市場は過去最高を更新する」

半導体製造装置各社の２０２５年４―９月期の決算が出そろった。これまで市場をけん引した中国投資がスローダウンする中、各社はＡＩ（人工知能）に狙いを定める。